gravure ionique à haute fréquence
- gravure ionique à haute fréquence
- aukštadažnis joninis ėsdinimas
statusas T sritis radioelektronika
atitikmenys: angl. high-frequency ion etching
vok. Hochfrequenzionenätzen, n
rus. высокочастотное ионное травление, n
pranc. gravure ionique à haute fréquence, f
Radioelektronikos terminų žodynas. – Vilnius : BĮ UAB „Litimo“.
Kazimieras Gaivenis, Gytis Juška, Vidas Kalesinskas.
2000.
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